山東大學(xué)新材料實(shí)驗(yàn)室不銹鋼特種氣體配氣柜設(shè)備的現(xiàn)狀

原不銹鋼自動配氣系統(tǒng)的材質(zhì)為316L，配合減壓閥裝置，流量計(jì)和旁路管道分支，管線錯綜復(fù)雜，標(biāo)識不明顯，且氣體流量計(jì)的精度與現(xiàn)實(shí)不符，使用起來非常不方便。

山東大學(xué)新材料實(shí)驗(yàn)室不銹鋼特種氣體柜的設(shè)計(jì)要求

如圖所示，配氣柜的功能要達(dá)到將H2,CH4,N2,CO2四種氣體的任意兩種進(jìn)行充分混合后輸出混合氣，可達(dá)到自動氣體配氣設(shè)備的使用要求，對于特種氣體配氣設(shè)備的定制，采用316L不銹鋼氣體管道和減壓控制系統(tǒng)，設(shè)備研發(fā)定制需與甲方實(shí)際儀器設(shè)備的使用要求，根據(jù)配置比例和流量要求，出具設(shè)備清單價格進(jìn)行比對。

項(xiàng)目為山東大學(xué)新材料實(shí)驗(yàn)室氣體配氣裝置配氣箱的設(shè)計(jì)與安裝，在設(shè)計(jì)智能氣體混氣配氣設(shè)備之前，混合氣體配氣柜需要以下幾個幾項(xiàng)來做溝通，達(dá)到多通量動態(tài)標(biāo)準(zhǔn)氣體配氣箱的使用要求和標(biāo)準(zhǔn)。

序號	項(xiàng)目	參數(shù)
1	管道氣體種類	此項(xiàng)目有H2,CH4,N2,CO2四種氣體
2	壓力表	量程（MPa）根據(jù)儀器的使用壓力來定
3	質(zhì)量流量計(jì)	量程SCCM 數(shù)顯 可設(shè)置，根據(jù)客戶使用要求
4	管徑	口徑1/4或3/8
5	管道材質(zhì)	316L,BA級或EP級，EP級半導(dǎo)體行業(yè)多選擇
6	各種閥門	依照管徑及圖示選擇
7	氣體柜大小	配氣柜的尺寸大小，分為落地式或桌面式，根據(jù)客戶現(xiàn)場情況定制定做均可

 

大學(xué)實(shí)驗(yàn)室自動氣體配氣設(shè)備定制圖

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